| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZGivnJVY/NeMgA |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/11.22.17.49 |
| Última Atualização | 2006:11.22.17.50.01 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/11.22.17.49.05 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.17.06 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-14319-PRE/9407 |
| ISSN | 0021-8979 |
| Chave de Citação | TanUedDalOliRos:2006:MaFiEf |
| Título | Magnetic field effects on secondary electron emission during ion implantation in a nitrogen plasma  |
| Ano | 2006 |
| Mês | Aug |
| Data de Acesso | 21 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 107 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Tan, Ing Hwie 2 Ueda, Mário 3 Dallaqua, Renato Sérgio 4 Oliveira, Rogério de Moraes 5 Rossi, José Oswaldo |
| Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JHDC 2 8JMKD3MGP5W/3C9JHSB 3 8JMKD3MGP5W/3C9JJ5K 4 8JMKD3MGP5W/3C9JJ6L |
| Grupo | 1 LAP-INPE-MCT-BR 2 LAP-INPE-MCT-BR 3 LAP-INPE-MCT-BR 4 LAP-INPE-MCT-BR 5 LAP-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 ingtan@plasma.inpe.br |
| Revista | Journal of Applied Physics |
| Volume | 100 |
| Número | 3 |
| Histórico (UTC) | 2006-11-22 17:50:01 :: simone -> administrator :: 2008-06-10 22:44:03 :: administrator -> simone :: 2011-05-29 03:31:05 :: simone -> administrator :: 2018-06-05 01:17:06 :: administrator -> marciana :: 2006 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | SURFACE MODIFICATION SUPPRESSION INSULATION |
| Resumo | In this work, the magnetic suppression of secondary electrons emitted during nitrogen plasma immersion ion implantation is investigated. Secondary electrons were measured by two Faraday cups with and without the presence of a magnetic field parallel to the target surface. One Faraday cup detects the electrons emerging perpendicularly to the target surface and magnetic field lines, while another cup detects electrons flowing along the field lines. Increase of magnetic field intensity resulted in a decrease of the amount of electrons detected by the perpendicular Faraday cup and in an increase of the electrons detected by the longitudinal one. This shows that secondary electrons were transversally confined by the magnetic field but diffused away from the target ends along the field lines. The secondary electron emission coefficient ( gamma ) was estimated and the results showed that partial suppression ( decrease in gamma ) was achieved when the plasma density was increased by an order of magnitude. We propose an explanation based on the formation of an electron layer ( virtual cathode ) near the target surface. Better suppression in denser plasmas would be expected because the virtual cathode would be maintained if the electron layer is formed faster than it is longitudinally lost. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Magnetic field effects... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZGivnJVY/NeMgA |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZGivnJVY/NeMgA |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | Magnetic field effects on secondary.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator simone |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | allowpublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.06 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.50.16 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.59.24 2 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage doi e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |